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四探針電阻率測(cè)試儀
點(diǎn)擊次數(shù):2149 更新時(shí)間:2019-02-19

對(duì)于半導(dǎo)體材料的電阻率,一般采用四探針、三探針和擴(kuò)展電阻。

電阻率是反映半導(dǎo)體材料導(dǎo)電性能的重要參數(shù)之一。測(cè)量電阻率的方法很多,四探針?lè)ㄊ且环N廣泛采用的標(biāo)準(zhǔn)方法。它的優(yōu)點(diǎn)是設(shè)備簡(jiǎn)單、操作方便,度高,對(duì)樣品的形狀無(wú)嚴(yán)格要求。

常用的是直線(xiàn)型四探針。四根探針的針尖在同一直線(xiàn)上,并且間距相等,都是S,一般采用0.5mm的間距,不同的探針間距需要對(duì)測(cè)量結(jié)果做相應(yīng)的校正。

一般目前的四探針電阻率(電導(dǎo)率)測(cè)試儀均已配置厚度的修正,通過(guò)厚度數(shù)值的設(shè)置,計(jì)算出不同的樣品厚度對(duì)電阻率的影響。

3.1.電阻率測(cè)量范圍、分辨率

率:10.0×10-6 k×200.0×103Ω-cm 分辨率1.0×10-6 0.1×103Ω-cm,k=110

3.2.電阻率量程劃分及誤差等級(jí)

滿(mǎn)度顯示

200.0

20.00

2.000

200.0

20.00

2.000

200.0

20.00

量程

KΩ-cm

Ω-cm

mΩ-cm

基本誤差

±2%讀數(shù)±4

±1.5%讀數(shù)±4

±0.5%讀數(shù)

±2

±0.5%讀數(shù)

±4

3.3.數(shù)字電壓表:

量程:10mV 100 mV,自動(dòng)

顯示: 4位有效數(shù)字,大顯示999.9,小數(shù)點(diǎn)、單位自動(dòng)顯示

3.4.數(shù)控恒流源8檔寬量程

電流輸出:系統(tǒng)自動(dòng)步進(jìn)調(diào)整,直流電流0.1μA,1.0μA,10μA,100μA,1.0mA,10mA,100mA,1.0A8檔可調(diào)。

3.5.粉末測(cè)試臺(tái)部分參數(shù):

1)試樣成份:成份不限,但不得含有對(duì)測(cè)試臺(tái)和電極有腐蝕作用的成份。

2)試樣粒度:推薦以40目以下—60目以上(標(biāo)準(zhǔn)篩網(wǎng)),一般其他粒度也可!

3)料杯容積:截面:S=1.0cm2

高度:020mm可調(diào),

4)自動(dòng)高度測(cè)試單元,測(cè)量誤差:±0.02mm。

四位有效顯示數(shù)00.0020.00mm,分別率±0.02mm。

5)自動(dòng)壓強(qiáng)測(cè)試單元,

標(biāo)準(zhǔn)壓強(qiáng):P0=4Mpa±0.05Mpa。
壓強(qiáng)量程:20Mpa, P=020 Mpa可調(diào)。

四位有效顯示數(shù)00.0020.00MPa,分別率±0.01 MPa。
6)、壓力機(jī)構(gòu)采用手動(dòng)操作、壓力平穩(wěn)可調(diào)。

3.6.配套PC軟件

1 USB高速通訊接口。

2帶數(shù)據(jù)庫(kù)方式存儲(chǔ)數(shù)據(jù),便于歷史查詢(xún)和第三方軟件拓展共享。

3自動(dòng)生成excel形式的圖表結(jié)合的測(cè)試報(bào)告,包含電阻率-壓強(qiáng)曲線(xiàn)圖形和詳細(xì)測(cè)試數(shù)據(jù)。

4帶測(cè)試報(bào)告預(yù)覽、編輯、打印功能。

3.7.測(cè)試儀外形與重量

前寬×長(zhǎng)×總高=250mm×220 mm×540mm

=10Kg

3.8.電源:

耗:< 10W

輸入:220V±10% 50Hz

3.9.本儀器工作條件為:

度: 0-40℃

相對(duì)濕度: ≥60%

工作室內(nèi)應(yīng)無(wú)強(qiáng)電磁場(chǎng)干擾,不與高頻設(shè)備共用電源。